Mikroelektromechanické zariadenie a spôsob jeho výroby

1. Predložený vynález sa týka mikroelektromechanického zariadenia a spôsobu jeho výroby.

Technika pozadia:

2. Mikroelektromechanické zariadenie (mems) je technológia vyvinutá komplexne na základe technológie mikroelektroniky, technológie výroby polovodičov a iných disciplín, ktorá integruje viaceré technické oblasti, ako je litografia, korózia, nanášanie tenkých vrstiev, mikroobrábanie a presné obrábanie. miniaturizácia presných zariadení, aby vyhovovali potrebám rôznych aplikácií. Medzi bežné pamäťové zariadenia patria akcelerometre a gyroskopy.

3. Súčasné memové akcelerometre alebo gyroskopy väčšinou používajú dve alebo viac konzolových lúčových štruktúr na podporu hromadného bloku. Hmotnostný blok môže byť posunutý v dôsledku zrýchlenia alebo môže byť poháňaný tak, aby osciloval, pričom sa meria zmena kapacity spôsobená hmotnostným blokom. Je možné merať zrýchlenie a uhlovú rýchlosť. Avšak výrobný proces konzolového nosníka je komplikovaný a je náchylný na výskyt problému nerovnováhy napätia medzi konzolovými nosníkmi.

Kontaktuj nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894