Spôsob výroby čipu snímača kostného vedenia

1. Predložená technológia sa týka technickej oblasti zariadení mikro-elektro-mechanického systému (mems), najmä senzorového čipu kostnej vodivosti.

Technika pozadia:

2. S rýchlym rozvojom mems technológie vznikol mems snímač kostného vedenia (ďalej len snímač kostného vedenia). Bežný senzorový čip kostnej vodivosti zvyčajne obsahuje zadnú dosku a vibračnú membránu usporiadanú protiľahlo a hmota je zavesená na strane vibračnej membrány preč od zadnej dosky. Masový blok cíti vibrácie kostí generované vibráciou hlasiviek a vytvára mechanické vibrácie. Mechanické vibrácie bloku hmoty poháňajú vibračnú membránu, aby vibrovala, čím sa mení vzdialenosť medzi zadnou doskou a vibračnou membránou a potom sa mení kapacitný signál, aby sa realizovala detekcia zvukového signálu. . Citlivosť bežného čipu snímača kostného vedenia však nie je príliš stabilná, čo obmedzuje jeho aplikačné pole.

Kontaktuj nás:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894